- 专利标题: 对称组合弹性梁结构电容式微加速度传感器及制作方法
- 专利标题(英): Capacitive micro-acceleration sensor with symmetrically combined elastic beam structure and production method thereof
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申请号: CN201010181131.6申请日: 2010-05-21
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公开(公告)号: CN101858929A公开(公告)日: 2010-10-13
- 发明人: 车录锋 , 李伟 , 孙腾 , 肖育华 , 王跃林
- 申请人: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
- 申请人地址: 上海市长宁区长宁路865号
- 专利权人: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
- 当前专利权人: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
- 当前专利权人地址: 上海市长宁区长宁路865号
- 代理机构: 上海智信专利代理有限公司
- 代理商 潘振甦
- 主分类号: G01P15/125
- IPC分类号: G01P15/125 ; B81B5/00 ; B81C3/00
摘要:
本发明涉及对称组合弹性梁结构电容式微加速度传感器及其制作方法。加速度传感器由一个对称的中心质量块、外部支撑框架、中心质量块与外部支撑框架相连接的八根对称直梁、两个对称框架梁、八根对称L梁连接在一起形成的组合弹性梁结构以及上、下盖板组成。与框架梁相连接的每根直弹性梁的另一端连接在中心质量块侧面顶端和底端的中间或顶角,与框架梁相连接的每根L梁的另一端连接在外部支撑框架内侧面。本加速度传感器采用对称直梁、框架梁、L梁连接在一起形成的组合弹性梁结构,具有高度对称性,可以显著减小传感器的交叉灵敏度,传感器采用微电子机械系统技术制作,是一种高灵敏度的电容式微加速度传感器。
公开/授权文献
- CN101858929B 对称组合弹性梁结构电容式微加速度传感器及制作方法 公开/授权日:2012-09-05
IPC分类: