带有准光子晶体波导阵列的量子级联激光器及其制作方法
摘要:
一种带有准光子晶体波导阵列的量子级联激光器,包括:一衬底;一下波导层生长在衬底之上,且中间有一凸台,凸台的两侧形成脊型双沟台面结构;一量子级联有源区结构生长在下波导层的凸台之上;一上波导层生长在量子级联有源区结构之上;一上包层生长在上波导层之上;一上覆盖层生长在上包层之上;一高掺杂欧姆接触层生长在上覆盖层之上;一准光子晶体波导阵列制作在上覆盖层和高掺杂欧姆接触层的两侧,中间的宽度为2μm-10μm,两侧的准光子晶体波导阵列的宽度相同,分别为5-24μm;一电绝缘层沉积在欧姆接触层之上,覆盖整个脊型台面上表面和侧壁,在覆盖有绝缘层的脊型台面中心部位留出电注入窗口;一正面电极制作在绝缘层之上;一背面电极生长在衬底的背面。
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