发明授权
CN101859983B 带有准光子晶体波导阵列的量子级联激光器及其制作方法
失效 - 权利终止
- 专利标题: 带有准光子晶体波导阵列的量子级联激光器及其制作方法
- 专利标题(英): Quantum cascade laser with photonic quasi-crystal waveguide and manufacture method thereof
-
申请号: CN201010175432.8申请日: 2010-05-12
-
公开(公告)号: CN101859983B公开(公告)日: 2012-01-25
- 发明人: 尹雯 , 陆全勇 , 张伟 , 刘峰奇 , 张全德 , 刘万峰 , 江宇超 , 李路 , 刘俊岐 , 王利军 , 王占国
- 申请人: 中国科学院半导体研究所
- 申请人地址: 北京市海淀区清华东路甲35号
- 专利权人: 中国科学院半导体研究所
- 当前专利权人: 中国科学院半导体研究所
- 当前专利权人地址: 北京市海淀区清华东路甲35号
- 代理机构: 中科专利商标代理有限责任公司
- 代理商 汤保平
- 主分类号: H01S5/34
- IPC分类号: H01S5/34 ; H01S5/227 ; H01S5/06
摘要:
一种带有准光子晶体波导阵列的量子级联激光器,包括:一衬底;一下波导层生长在衬底之上,且中间有一凸台,凸台的两侧形成脊型双沟台面结构;一量子级联有源区结构生长在下波导层的凸台之上;一上波导层生长在量子级联有源区结构之上;一上包层生长在上波导层之上;一上覆盖层生长在上包层之上;一高掺杂欧姆接触层生长在上覆盖层之上;一准光子晶体波导阵列制作在上覆盖层和高掺杂欧姆接触层的两侧,中间的宽度为2μm-10μm,两侧的准光子晶体波导阵列的宽度相同,分别为5-24μm;一电绝缘层沉积在欧姆接触层之上,覆盖整个脊型台面上表面和侧壁,在覆盖有绝缘层的脊型台面中心部位留出电注入窗口;一正面电极制作在绝缘层之上;一背面电极生长在衬底的背面。
公开/授权文献
- CN101859983A 带有准光子晶体波导的量子级联激光器及其制作方法 公开/授权日:2010-10-13