发明授权
- 专利标题: 一种制膜装置
- 专利标题(英): Film forming apparatus
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申请号: CN201010165195.7申请日: 2010-04-20
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公开(公告)号: CN101862724B公开(公告)日: 2015-01-07
- 发明人: 春日治
- 申请人: 精工爱普生株式会社
- 申请人地址: 日本东京都
- 专利权人: 精工爱普生株式会社
- 当前专利权人: 科迪华显示技术(绍兴)有限公司
- 当前专利权人地址: 浙江省绍兴市越城区马山街道(绍兴综合保税区内)秋越路1号高端制造产业园1幢12层002
- 代理机构: 北京市中咨律师事务所
- 代理商 陈海红; 段承恩
- 优先权: 101655/2009 2009.04.20 JP
- 主分类号: B05C5/00
- IPC分类号: B05C5/00 ; B05C11/10 ; B05B13/02
摘要:
本发明提供一种制膜装置,不会出现由等待时间导致的生产性下降,防止了因排出头的温度变化引起的排出不均匀。制膜装置(1)具备:载物台(2),装载基板(P);排出头(3);维护装置(5、6、7),实施排出头(3)的维护;以及腔室(8),收置它们。在腔室(8)内,设置描绘区域(E1)和维护区域(E2),在描绘区域(E1)和维护区域(E2)之间设置有使排出头(3)移动的输送装置(25)。在腔室(8)中设置有温度调整机构(56),对于使排出头(3)位于维护区域(E2)的期间的维护区域(E2)的温度,以使得其相对于使排出头(3)位于描绘区域(E1)的期间的描绘区域(E1)的温度相同或者较高的方式,进行调整。
公开/授权文献
- CN101862724A 制膜装置及制膜方法 公开/授权日:2010-10-20