表面结构化复合涂层制备方法及其装置
摘要:
一种表面结构化复合涂层制备方法及其装置,属于表面工程的薄膜涂层。用于表面结构化复合涂层制备方法的专用装置是紫外脉冲激光多功能表面处理系统装置,紫外脉冲激光多功能表面处理系统装置包括脉冲激光模块、精密扫描模块和环境调控模块,脉冲激光模块、精密扫描模块和环境调控模块顺序连接;本发明按照如下的步骤实现:前期准备、表面结构化处理、复合涂层沉积和后处理。优点:本发明构思新颖,加工方便、效率高,采用一个激光光源同时实现材料表面的结构化处理和复合涂层的沉积,工艺简单、易于控制;应用范围广,可以对任何材料进行精密的表面结构化处理,同时可以诱导多种气体的化学反应,高效的进行复合涂层沉积。
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