一种离线大面积镀膜生产线
摘要:
本发明涉及一种离线大面积镀膜生产线,包括反应前驱液气化系统(9)、气相沉积装置(1)、以及一组与气相沉积装置相配合的辊道(4),其特征在于:在辊道(4)下部设有波形板(2),其上表面设置一组半圆弧面与对应的辊道(4)呈同心圆配合;辊道(4)之间分别设置一盖砖(3),盖砖(3)两侧面边与辊道(4)圆柱面呈间隙配合。另外在气化系统中设有定量气化装置(9)和气体分配装置(7)。本发明结构简单,采用合适的气态前驱物可以在移动的大尺寸热玻璃表面均匀沉积一种或几种功能性薄膜,且薄膜厚度均匀,无明显的光学干涉条纹。
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