发明授权
- 专利标题: 一种离线大面积镀膜生产线
- 专利标题(英): Offline large-area coating film production line
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申请号: CN201010209351.5申请日: 2010-06-25
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公开(公告)号: CN101892466B公开(公告)日: 2012-10-31
- 发明人: 彭寿 , 甘治平 , 金良茂 , 王东 , 王友乐 , 陈凯 , 张家林 , 石丽芬
- 申请人: 蚌埠玻璃工业设计研究院 , 中国建材国际工程集团有限公司
- 申请人地址: 安徽省蚌埠市涂山路1047号
- 专利权人: 蚌埠玻璃工业设计研究院,中国建材国际工程集团有限公司
- 当前专利权人: 蚌埠玻璃工业设计研究院,中国建材国际工程集团有限公司
- 当前专利权人地址: 安徽省蚌埠市涂山路1047号
- 代理机构: 安徽省蚌埠博源专利商标事务所
- 代理商 杨晋弘
- 主分类号: C23C16/52
- IPC分类号: C23C16/52 ; C23C16/455
摘要:
本发明涉及一种离线大面积镀膜生产线,包括反应前驱液气化系统(9)、气相沉积装置(1)、以及一组与气相沉积装置相配合的辊道(4),其特征在于:在辊道(4)下部设有波形板(2),其上表面设置一组半圆弧面与对应的辊道(4)呈同心圆配合;辊道(4)之间分别设置一盖砖(3),盖砖(3)两侧面边与辊道(4)圆柱面呈间隙配合。另外在气化系统中设有定量气化装置(9)和气体分配装置(7)。本发明结构简单,采用合适的气态前驱物可以在移动的大尺寸热玻璃表面均匀沉积一种或几种功能性薄膜,且薄膜厚度均匀,无明显的光学干涉条纹。
公开/授权文献
- CN101892466A 一种离线大面积镀膜生产线 公开/授权日:2010-11-24
IPC分类: