发明授权
CN101908469B 处理装置
失效 - 权利终止
- 专利标题： 处理装置
- 专利标题（英）： Processing apparatus
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申请号： CN201010188745.7申请日： 2010-05-28
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公开(公告)号： CN101908469B公开(公告)日： 2013-07-24
- 发明人: 驹田秀树
- 申请人： 东京毅力科创株式会社
- 申请人地址： 日本东京都
- 专利权人： 东京毅力科创株式会社
- 当前专利权人： 东京毅力科创株式会社
- 当前专利权人地址： 日本东京都
- 代理机构： 北京林达刘知识产权代理事务所
- 代理商 刘新宇; 张会华
- 优先权： 2009-137500 2009.06.08 JP
- 主分类号： H01L21/00
- IPC分类号： H01L21/00 ; H01L21/677
摘要：
本发明提供一种能够抑制输送机构的零件的消耗、维护间隔比以往的装置长的处理装置。处理组件对被处理体进行处理，前级组件用于载置还未被搬入到该处理组件中的被处理体。输送机构(5)在处理组件与上述前级组件之间输送被处理体，在产生了使上述输送机构的一连串的动作暂时停止的待机时间时，控制部(61)输出用于降低上述输送机构的输送速度的控制信号。
公开/授权文献
- CN101908469A 处理装置 公开/授权日：2010-12-08
IPC分类:
