发明授权
- 专利标题: 相似性检测方法和装置
- 专利标题(英): Similarity detection method and device
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申请号: CN200910053144.2申请日: 2009-06-16
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公开(公告)号: CN101923123B公开(公告)日: 2012-08-22
- 发明人: 王邕保
- 申请人: 中芯国际集成电路制造(上海)有限公司
- 申请人地址: 上海市浦东新区张江路18号
- 专利权人: 中芯国际集成电路制造(上海)有限公司
- 当前专利权人: 中芯国际集成电路制造(上海)有限公司,中芯国际集成电路制造(北京)有限公司
- 当前专利权人地址: 上海市浦东新区张江路18号
- 代理机构: 北京集佳知识产权代理有限公司
- 代理商 吴靖靓; 李丽
- 主分类号: G01R31/00
- IPC分类号: G01R31/00
摘要:
一种相似性检测方法和装置。所述方法包括:获取两组检测数据,所述检测数据用于表征产品的性质,所述检测数据符合对数正态分布;建立各组检测数据的对数正态分布函数对应的线性回归模型;计算各组检测数据的线性回归模型对应的误差平方和以及误差均方;设置各组检测数据的线性回归模型对应的置信带,所述置信带与所述计算所得的误差均方关联;若每组检测数据的线性回归模型在另一组检测数据的线性回归模型对应的置信带内,确定两组检测数据相似。所述相似性检测方法和装置可以提高相似性检测的准确性。
公开/授权文献
- CN101923123A 相似性检测方法和装置 公开/授权日:2010-12-22