多晶MgO烧结体及其制造方法以及溅射用MgO靶材
Abstract:
本发明提供MgO烧结体及其制造方法,所述MgO烧结体的烧结密度接近理论密度,机械性质及热传导率优良,能够减少由气体产生造成的气氛的污染。多晶MgO烧结体具有在施加有单向压力的面上使多个(111)面取向的独特的晶体各向异性。所述多晶MgO烧结体经由单向加压烧结粒径为1μm以下的MgO原料粉末的工序和其后在存在0.05体积%以上氧的气氛中,以1273K以上的温度热处理1分钟以上的工序而得到。
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