利索-全球专利检索

  1. 登录
  2. 注册
发明公开
CN101941669A MEMS传感器、硅麦克风以及压力传感器 无效 - 撤回

MEMS传感器、硅麦克风以及压力传感器
摘要：
本发明提供一种MEMS传感器、硅麦克风以及压力传感器。MEMS传感器包括：贯通地形成开口的半导体基板；与上述开口对置设置，并在该对置方向上能振动的振动膜；以及形成在上述振动膜上的压电元件或应变片。
摘要（英）：

An MEMS sensor includes: a semiconductor substrate having an opening extending therethrough; a vibration diaphragm opposed to the opening in an opposing direction and capable of vibrating in the opposing direction; and a piezoelectric element or a strain gage provided in association with the vibration diaphragm.

0/0