发明授权
- 专利标题: 双面图形芯片正装先镀后刻单颗封装方法
- 专利标题(英): First-coating last-etching single package method for positively packaging double-sided graphic chip
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申请号: CN201010273001.5申请日: 2010-09-04
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公开(公告)号: CN101950726B公开(公告)日: 2012-05-23
- 发明人: 王新潮 , 梁志忠
- 申请人: 江苏长电科技股份有限公司
- 申请人地址: 江苏省江阴市开发区滨江中路275号
- 专利权人: 江苏长电科技股份有限公司
- 当前专利权人: 江苏长电科技股份有限公司
- 当前专利权人地址: 江苏省江阴市开发区滨江中路275号
- 代理机构: 江阴市同盛专利事务所
- 代理商 唐纫兰
- 主分类号: H01L21/50
- IPC分类号: H01L21/50 ; H01L21/48
摘要:
本发明涉及一种双面图形芯片正装先镀后刻单颗封装方法,所述方法包括以下工艺步骤:取金属基板;金属基板进行金属层电镀被覆;金属基板进行背面蚀刻作业;金属基板背面进行包封无填料的塑封料(环氧树脂)作业;金属基板正面蚀刻作业;蚀刻出基岛和引脚的正面,且使所述基岛和引脚的背面尺寸小于基岛和引脚的正面尺寸,形成上大下小的基岛和引脚结构;装片;打金属线;半成品正面进行局部单元包封有填料塑封料(环氧树脂)作业,使引脚正面局部单元区域露出有填料塑封料(环氧树脂);岛和引脚的背面以及引脚的正面进行金属层电镀被覆;切割。本发明方法制备的芯片封装结构不会再有产生掉脚的问题和能使金属线的长度缩短。
公开/授权文献
- CN101950726A 双面图形芯片正装先镀后刻单颗封装方法 公开/授权日:2011-01-19
IPC分类: