选择性发射极太阳电池的制备方法
摘要:
本发明公开了一种选择性发射极太阳电池的制备方法,包括以下步骤:提供单晶硅片进行表面织构化;通过第一丝网印刷网版对上述硅片印刷扩散渗透膜;所述第一丝网印刷网版所印刷的扩散渗透膜遮挡住非电极区,裸露待印刷电极区域,硅片在有渗透膜的非电极受光区域形成轻扩散层,而在没有渗透膜的待印刷电极区域形成重扩散层;然后进行刻蚀去除周边的PN结,再进行洗膜并去除磷硅玻璃;制作钝化及减反射层;用印刷网版印刷并烧结形成背面Ag电极、背面铝背场和正面Ag电极。本发明提供的选择性发射极太阳电池的制备方法,采用一次扩散就可形成选择性发射极太阳电池所需的轻重掺杂,减少了一次高温扩散过程,简化了工艺路径,使得成本更低。
公开/授权文献
0/0