内建电子倍增功能型的固体摄像元件
摘要:
本发明的内建电子倍增功能型的固体摄像元件具备:由多个垂直移位寄存器构成的摄像区域(VR);传送来自摄像区域(VR)的电子的水平移位寄存器(HR);倍增来自水平移位寄存器(HR)的电子的倍增寄存器(EM);及设置于摄像区域(VR)的电子传送方向的始点侧的端部的电子注入用电极(11A)。通过电子注入用电极(11A)被注入电子的特定的垂直移位寄存器(信道(CH1))位于半导体基板的厚板部,且被设定成相对于入射光被遮光。
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