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微流体装置及操作方法
摘要:
一种微机电系统(MEMS)装置(10)和用于操作该装置(10)以确定流体的性质的方法。该装置(10)具有管(14),管(14)从基部(16)延伸且与衬底表面(18)间隔开,以在垂直于表面(18)的平面中进行振动运动。管(14)限定了连续内部通路(20),其具有流体地连接到基部(16)上的流体入口(22)和流体出口(24)。与基部(16)相对地附连到管(14)的远端部分(14C)上的悬臂构件(30)被构造成以便相对于远端部分(14C)进行振动运动。可操作以在管(14)和悬臂构件(30)中引起振动运动的驱动电极(26)设置于衬底表面(18)上。感测电极(28)设置于衬底表面(18)上,以用于感测在振动时管(14)的科里奥利诱导的偏转,并生成输出,可根据该输出来确定流动通过管(14)的流体的性质。
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