发明授权
CN101970338B 微流体装置及操作方法
失效 - 权利终止
- 专利标题: 微流体装置及操作方法
- 专利标题(英): Microfluidic device and method of operation
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申请号: CN200980105496.6申请日: 2009-02-11
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公开(公告)号: CN101970338B公开(公告)日: 2013-03-27
- 发明人: D·R·斯帕克斯 , R·T·史密斯 , N·纳贾菲
- 申请人: 集成感应系统公司
- 申请人地址: 美国密执安州
- 专利权人: 集成感应系统公司
- 当前专利权人: 集成感应系统公司
- 当前专利权人地址: 美国密执安州
- 代理机构: 中国专利代理(香港)有限公司
- 代理商 严志军; 谭祐祥
- 优先权: 61/065293 2008.02.11 US
- 国际申请: PCT/US2009/033757 2009.02.11
- 国际公布: WO2009/102763 EN 2009.08.20
- 进入国家日期: 2010-08-11
- 主分类号: G01N11/16
- IPC分类号: G01N11/16 ; B81B1/00 ; H01L21/00 ; B81B7/00 ; G01N33/00
摘要:
一种微机电系统(MEMS)装置(10)和用于操作该装置(10)以确定流体的性质的方法。该装置(10)具有管(14),管(14)从基部(16)延伸且与衬底表面(18)间隔开,以在垂直于表面(18)的平面中进行振动运动。管(14)限定了连续内部通路(20),其具有流体地连接到基部(16)上的流体入口(22)和流体出口(24)。与基部(16)相对地附连到管(14)的远端部分(14C)上的悬臂构件(30)被构造成以便相对于远端部分(14C)进行振动运动。可操作以在管(14)和悬臂构件(30)中引起振动运动的驱动电极(26)设置于衬底表面(18)上。感测电极(28)设置于衬底表面(18)上,以用于感测在振动时管(14)的科里奥利诱导的偏转,并生成输出,可根据该输出来确定流动通过管(14)的流体的性质。
公开/授权文献
- CN101970338A 微流体装置及操作方法 公开/授权日:2011-02-09