Invention Grant
- Patent Title: 一种三轴罗茨真空泵
- Patent Title (English): Three-axis Roots vacuum pump
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Application No.: CN201010565609.5Application Date: 2010-11-30
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Publication No.: CN101985935BPublication Date: 2012-12-26
- Inventor: 刘坤 , 巴德纯 , 岳向吉 , 李培印 , 王光玉 , 张振厚
- Applicant: 东北大学 , 中国科学院沈阳科学仪器股份有限公司
- Applicant Address: 辽宁省沈阳市和平区文化路3号巷11号
- Assignee: 东北大学,中国科学院沈阳科学仪器股份有限公司
- Current Assignee: 东北大学,中国科学院沈阳科学仪器股份有限公司
- Current Assignee Address: 辽宁省沈阳市和平区文化路3号巷11号
- Agency: 沈阳科苑专利商标代理有限公司
- Agent 白振宇
- Main IPC: F04C25/02
- IPC: F04C25/02 ; F04C18/14
Abstract:
本发明涉及一种真空泵,具体涉及一种三轴罗茨真空泵。包括电机、主轴和从动轴,主轴上装配有主动齿轮,与主动齿轮相啮合的从动齿轮装配在从动轴上,在主轴和从动轴上装有罗茨转子,所述的从动轴有两根,平行且对称的装配在主轴的两侧。本发明具有结构紧凑、结构对称、三作用抽气和泵腔内无油的特点,能实现较大的抽气速率。
Public/Granted literature
- CN101985935A 一种三轴罗茨真空泵 Public/Granted day:2011-03-16
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