发明授权
- 专利标题: 静态随机存取存储器
- 专利标题(英): Static random access memory
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申请号: CN200910056134.4申请日: 2009-08-07
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公开(公告)号: CN101989456B公开(公告)日: 2012-11-28
- 发明人: 黄艳 , 黄威森 , 顾一鸣
- 申请人: 中芯国际集成电路制造(上海)有限公司
- 申请人地址: 上海市浦东新区张江路18号
- 专利权人: 中芯国际集成电路制造(上海)有限公司
- 当前专利权人: 中芯国际集成电路制造(上海)有限公司,中芯国际集成电路制造(北京)有限公司
- 当前专利权人地址: 上海市浦东新区张江路18号
- 代理机构: 北京德琦知识产权代理有限公司
- 代理商 牛峥; 王丽琴
- 主分类号: G11C11/412
- IPC分类号: G11C11/412 ; H01L27/11
摘要:
本发明公开了一种静态随机存取存储器(SRAM),在制作SRAM时,重新制造掩模版上的AA图形,使该掩膜版的AA图形中,接近场效应晶体管PG_1的栅极区域的拐角区域为非直角,接近场效应晶体管PG_r的栅极区域的拐角区域为非直角,非直角的拐角区域可以为曲面或楼梯形。因此,本发明防止了最终形成的SRAM性能失配。
公开/授权文献
- CN101989456A 静态随机存取存储器 公开/授权日:2011-03-23