光学检测设备和检测部件表面的方法
摘要:
本发明涉及一种用来检测至少一个部件(11)的至少一个表面(11a)的光学检测设备,所述部件(11)能够通过保持部件(15)从第一工作站(2)运输到第二工作站(3),一摄像仪器(18)被定向到所述部件(11)的第一表面(11a)。所述设备包括至少一个向所述第一表面(11a)发出波长在短波范围内的第一光束(25,26)的第一光源(12),以及至少一个向所述部件(11)的至少一个第二表面(11b,11c)发出波长在长波范围的第二光束(29,30)的第二光源(13a,13b),且所述第二表面(11b,11c)相对于所述第一表面(11a)的方位不同;所述摄像仪器接收在所述表面(11a至11c)反射的所述第一和第二光束(27,33,34)用来生成所述表面的图像(37)。
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