发明授权
- 专利标题: 半导体装置的制造方法
- 专利标题(英): Method for manufacturing semiconductor device
-
申请号: CN201010267750.7申请日: 2010-08-30
-
公开(公告)号: CN102005371B公开(公告)日: 2012-11-28
- 发明人: 柳雅彦
- 申请人: 夏普株式会社
- 申请人地址: 日本大阪府大阪市
- 专利权人: 夏普株式会社
- 当前专利权人: 夏普株式会社
- 当前专利权人地址: 日本大阪府大阪市
- 代理机构: 中国专利代理(香港)有限公司
- 代理商 闫小龙; 王忠忠
- 优先权: 2009-198973 2009.08.28 JP
- 主分类号: H01L21/266
- IPC分类号: H01L21/266 ; H01L21/8238
摘要:
本发明提供一种能够减少掩模工序数的半导体装置的制造方法。在CMOS制造工艺中,使用共同的掩模图形,同时进行NMOS以及PMOS的形成区域的栅电极的加工,加工栅电极之后,使用将栅电极作为掩模的共同的掩模图形,进行用于分别在各NMOS以及PMOS的形成区域形成阱以及源极漏极区域的杂质离子的注入,从而能够减少掩模工序数。
公开/授权文献
- CN102005371A 半导体装置的制造方法 公开/授权日:2011-04-06
IPC分类: