发明授权
CN102005400B 失效检测方法以及失效检测装置
失效 - 权利终止
- 专利标题: 失效检测方法以及失效检测装置
- 专利标题(英): Failure detection method and failure detection device
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申请号: CN200910194791.5申请日: 2009-08-28
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公开(公告)号: CN102005400B公开(公告)日: 2012-05-16
- 发明人: 龚斌 , 郭强
- 申请人: 中芯国际集成电路制造(上海)有限公司
- 申请人地址: 上海市浦东新区张江路18号
- 专利权人: 中芯国际集成电路制造(上海)有限公司
- 当前专利权人: 中芯国际集成电路制造(上海)有限公司
- 当前专利权人地址: 上海市浦东新区张江路18号
- 代理机构: 北京集佳知识产权代理有限公司
- 代理商 李丽
- 主分类号: H01L21/66
- IPC分类号: H01L21/66 ; H01L21/00 ; G01R31/02
摘要:
一种失效检测方法以及失效检测装置,用于检测两个待测导电体之间的桥接缺陷,所述方法包括:在两个待测导电体上各设置一个输出端,且所述两个输出端电势位相等;向任一所述待测导电体上沿预定路径排列的检测点依次输入恒定的检测电流;检测两个输出端的输出电流,基于各检测点的位置信息以及两个输出端的输出电流信息,建立输出端的输出电流与检测点位置之间的对应关系;据所述对应关系判定检测点是否存在缺陷。本发明能有效检测并定位半导体器件中的金属互连线之间的桥接缺陷,并提升缺陷定位的灵敏度和精度。
公开/授权文献
- CN102005400A 失效检测方法以及失效检测装置 公开/授权日:2011-04-06
IPC分类: