本发明提供一种不会对微细成型品的尺寸精度带来影响且可以大幅度降低脱模阻力的成型用模具和该模具表面的加工方法。在所述成型用模具中，在测定区域10μm见方以下测定的与成型材料接触的模具表面的算术平均粗糙度Ra为5nm以下，并且在所述模具表面以400个/μm2以上的密度形成直径10～80nm、高度10～40nm范围的粒状微细凸形结构物。这样，不仅可减小由于锚定效果和掘出而产生的摩擦力，并且还可以同时降低由于弯月面而产生的粘合力。