发明授权
- 专利标题: 光波导的制造方法及光波导
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申请号: CN200980117381.9申请日: 2009-05-12
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公开(公告)号: CN102027400B公开(公告)日: 2016-03-30
- 发明人: 柴田智章 , 山口正利 , 高桥敦之 , 落合雅美
- 申请人: 日立化成工业株式会社
- 申请人地址: 日本东京都
- 专利权人: 日立化成工业株式会社
- 当前专利权人: 日立化成工业株式会社
- 当前专利权人地址: 日本东京都
- 代理机构: 北京银龙知识产权代理有限公司
- 代理商 钟晶
- 优先权: 2008-126317 2008.05.13 JP; 2008-126325 2008.05.13 JP
- 国际申请: PCT/JP2009/058827 2009.05.12
- 国际公布: WO2009/139375 JA 2009.11.19
- 进入国家日期: 2010-11-15
- 主分类号: G02B6/13
- IPC分类号: G02B6/13
摘要:
本发明提供光波导的制造方法,其具有以下工序:将基材上所形成的包层形成用树脂进行固化形成下部包层的工序;在该下部包层上层叠芯层形成用树脂薄膜形成芯层的工序;将该芯层进行曝光显影形成芯图形的工序;以及在该芯图形上层叠上部包层形成用树脂薄膜,将该包层形成用树脂进行固化,形成上部包层的工序,本发明提供在层叠该上部包层形成用树脂薄膜时,以该包层形成用树脂的熔融粘度为100~200Pa·s的形式控制层叠条件的光波导的制造方法、以及通过熔融粘度为100~200Pa·s的树脂形成的光波导,提供能以良好的生产率制造光波导、且在芯层和上部包层之间不残留气泡的光波导的制造方法。
公开/授权文献
- CN102027400A 光波导的制造方法及光波导 公开/授权日:2011-04-20