光波导的制造方法及光波导
摘要:
本发明提供光波导的制造方法,其具有以下工序:将基材上所形成的包层形成用树脂进行固化形成下部包层的工序;在该下部包层上层叠芯层形成用树脂薄膜形成芯层的工序;将该芯层进行曝光显影形成芯图形的工序;以及在该芯图形上层叠上部包层形成用树脂薄膜,将该包层形成用树脂进行固化,形成上部包层的工序,本发明提供在层叠该上部包层形成用树脂薄膜时,以该包层形成用树脂的熔融粘度为100~200Pa·s的形式控制层叠条件的光波导的制造方法、以及通过熔融粘度为100~200Pa·s的树脂形成的光波导,提供能以良好的生产率制造光波导、且在芯层和上部包层之间不残留气泡的光波导的制造方法。
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