发明公开
CN102027562A 试样夹持器组件
无效 - 撤回
- 专利标题: 试样夹持器组件
- 专利标题(英): Specimen holder assembly
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申请号: CN200980117115.6申请日: 2009-03-16
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公开(公告)号: CN102027562A公开(公告)日: 2011-04-20
- 发明人: G·默布斯 , G·魏 , X·徐 , J·J·王 , R·盖 , A·J·罗克伍德 , B·因克森
- 申请人: 谢菲尔德大学
- 申请人地址: 英国约克郡
- 专利权人: 谢菲尔德大学
- 当前专利权人: 谢菲尔德大学
- 当前专利权人地址: 英国约克郡
- 代理机构: 中国专利代理(香港)有限公司
- 代理商 赵华伟
- 优先权: 08102641.1 2008.03.15 EP; 0804771.4 2008.03.17 GB
- 国际申请: PCT/GB2009/050253 2009.03.16
- 国际公布: WO2009/115838 EN 2009.09.24
- 进入国家日期: 2010-11-12
- 主分类号: H01J37/20
- IPC分类号: H01J37/20 ; H01J37/26 ; H01L41/09
摘要:
一种适合于在透射电子显微镜中断层照相检验试样的试样夹持器组件(500),包括:主体部分(501),该主体部分(501)取细长构件的形式,所述细长构件安排成可移动地插入显微镜的支柱中;和操纵器部分,该操纵器部分具有第一轴线,操纵器部分包括:试样安装部分(510),该试样安装部分(510)配置成支承试样;试样平移组件(530),该试样平移组可操纵,以便相对于主体部分平移试样安装部分;和试样旋转组件(540),该试样旋转组件(540)结合到主体部分和试样平移组件(530)上,试样旋转组件可操纵,以便绕第一轴线相对于主体部分旋转试样平移组件。