用来在玻璃基板中形成微结构的方法和系统
摘要:
一种在玻璃基板中形成微结构凹穴的方法,所述方法包括将第一激光脉冲投射到玻璃基板上,从而形成具有锥形结构的第一微结构凹穴。所述第一激光脉冲在玻璃基板的表面上可以具有第一点区域。还可以将第二激光脉冲投射到玻璃基板上,从而形成具有锥形结构的第二微结构凹穴,所述第二激光脉冲在玻璃基板的表面上具有第二点区域。所述第二点区域可以基本上与第一点区域相同,可以与第一点区域重叠,使得第一微结构凹穴和第二微结构凹穴之间的部分侧壁被烧蚀。在部分侧壁被烧蚀之后,所述第一和第二微结构凹穴各自的直径可以小于所述第一点区域的直径。
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