- 专利标题: 使用压力流量控制装置的流体非连续式流量切换控制方法
- 专利标题(英): Discontinuous switching flow control method of fluid using pressure type flow controller
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申请号: CN200980118159.0申请日: 2009-03-10
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公开(公告)号: CN102037423B公开(公告)日: 2014-02-05
- 发明人: 大见忠弘 , 西野功二 , 土肥亮介 , 永濑正明 , 杉田胜幸 , 平田薰 , 广濑隆 , 筱原努 , 池田信一 , 吉田俊英 , 田中久士
- 申请人: 株式会社富士金 , 国立大学法人东北大学 , 东京毅力科创株式会社
- 申请人地址: 日本大阪府
- 专利权人: 株式会社富士金,国立大学法人东北大学,东京毅力科创株式会社
- 当前专利权人: 株式会社富士金,国立大学法人东北大学,东京毅力科创株式会社
- 当前专利权人地址: 日本大阪府
- 代理机构: 中国专利代理(香港)有限公司
- 代理商 代易宁; 杨楷
- 优先权: 2008-132683 2008.05.21 JP
- 国际申请: PCT/JP2009/001069 2009.03.10
- 国际公布: WO2009/141947 JA 2009.11.26
- 进入国家日期: 2010-11-19
- 主分类号: G05D7/06
- IPC分类号: G05D7/06 ; G01F1/00 ; G01F1/42 ; G01F7/00 ; G05D16/20
摘要:
本发明是使用了流量范围可变型流量控制装置的流体流量控制方法,该装置使得压力式流量控制装置的控制阀的下游侧和流体供给用管道之间的流体通道为至少两个以上的并列状流体通道,并且使流体流量特性不同的孔口分别位于所述各并列状的流体通道中,在第1流量域的流体的流量控制中,使所述第1流量域的流体流过一个孔口,并且在第2流量域的流体的流量控制中使所述第2流量域的流体流过至少另一个孔口,选定所述各孔口的流量特性,使得所述小流量的第1流量域的流体的最大控制流量小于所述大流量的第2流量域的最大控制流量的10%,在规定的流量控制误差内流量控制将第1流量域中的可能的最小流量降低。
公开/授权文献
- CN102037423A 使用压力式流量控制装置的流体非连续式流量切换控制方法 公开/授权日:2011-04-27