具有集成场效应整流器的MOSFET
摘要:
一种修改的MOSFET结构,包括集成的场效应整流器,连接在MOSFET的源极与漏极之间,用于在MOSFET的切换期间分流电流。集成的FER提供MOSFET的更快切换,因为在切换期间没有注入的载流子,而同时还相对于分立的解决方案降低了EMI的程度。MOSFET和FER的集成结构可以使用N-外延、多层外延和超沟槽技术包括0.25μm技术来制造。可以使用自对准工艺。
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