发明授权
- 专利标题： 清洗基板用洗净液组成物
- 专利标题（英）： Cleaning solution composition for cleaning substrate
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申请号： CN200910207224.9申请日： 2009-10-13
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公开(公告)号： CN102043356B公开(公告)日： 2012-09-26
- 发明人: 施俊安
- 申请人： 奇美实业股份有限公司
- 申请人地址： 中国台湾台南县仁德乡三甲村59-1号
- 专利权人： 奇美实业股份有限公司
- 当前专利权人： 奇美实业股份有限公司
- 当前专利权人地址： 中国台湾台南县仁德乡三甲村59-1号
- 代理机构： 上海新天专利代理有限公司
- 代理商 王敏杰; 胡红芳
- 主分类号： G03F7/42
- IPC分类号： G03F7/42
摘要：
本发明涉及一种清洗基板用洗净液组成物，特别是提供一种洗净力强、洗净后光阻膜形状佳的清洗基板用洗净液组成物。该洗净液组成物的含水率在200ppm以下。
公开/授权文献
- CN102043356A 清洗基板用洗净液组成物 公开/授权日：2011-05-04
IPC分类:
