发明授权
CN102044408B 用于动态调整化学机械抛光速率的方法
失效 - 权利终止
- 专利标题: 用于动态调整化学机械抛光速率的方法
- 专利标题(英): Method for dynamically adjusting chemically mechanical polishing (CMP) rate
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申请号: CN200910197574.1申请日: 2009-10-21
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公开(公告)号: CN102044408B公开(公告)日: 2012-03-14
- 发明人: 潘继岗 , 彭澎
- 申请人: 中芯国际集成电路制造(上海)有限公司
- 申请人地址: 上海市浦东新区张江路18号
- 专利权人: 中芯国际集成电路制造(上海)有限公司
- 当前专利权人: 中芯国际集成电路制造(上海)有限公司
- 当前专利权人地址: 上海市浦东新区张江路18号
- 代理机构: 北京市磐华律师事务所
- 代理商 董巍; 顾珊
- 主分类号: H01L21/00
- IPC分类号: H01L21/00 ; H01L21/306
摘要:
本发明公开了一种用于动态调整化学机械抛光速率的方法,包括下列步骤:收集特定历史时间段内的抛光数据,所述数据包括该时间段内多次测量的线下抛光速率,以及该时间段开始时的抛光速率结束时的抛光速率;根据这些历史数据计算每次抛光的抛光厚度调整量,从而将化学机械抛光设备中损耗部件的损耗情况进行评估并及时反馈,从而及时调整化学机械抛光设备的抛光速率,以便使得化学机械抛光设备可以始终以恒定的抛光速率进行工作,从而减小停机维护的频率,提高工作效率。
公开/授权文献
- CN102044408A 用于动态调整化学机械抛光速率的方法 公开/授权日:2011-05-04
IPC分类: