一种等离子体损伤程度的检测方法，包括：提供一批芯片；提供所述一批芯片阈值电压漂移量的上限值；测试所述一批芯片的漏电流，获得所述漏电流分布；从所述一批芯片中抽取部分芯片，测试所述部分芯片的阈值电压，获得阈值电压漂移量及其分布；根据所述阈值电压漂移量和所述上限值，确定所述部分芯片的合格率；应用所述部分芯片合格率于所述一批芯片，建立所述一批芯片的漏电流标准值；根据所述一批芯片的漏电流标准值，检测所述一批芯片的等离子体损伤程度。本发明方法可以降低检测成本，提高检测效率，实现在线检测，同时不会对芯片造成损伤。