本发明提供了具有正型光刻性能的新型感光性树脂组合物、使用该组合物的固化浮雕图案的制造方法以及具有该固化浮雕图案的半导体装置，所述感光性树脂组合物的保存稳定性优异，高感光度且曝光后的感光度的经时稳定性优异。本发明的感光性树脂组合物，其特征在于，包含：100质量份(A)含有下述通式(1){式中，X1、X2、Y1、Y2、l、m如权利要求所定义。}所示结构的羟基聚酰胺；0.01～30质量份(B)下述通式(2){式中，k、X、R1、R2、n、p、q如权利要求中所定义。}所示的含烷氧基烷基的化合物；以及1～100质量份(C)重氮醌化合物。