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发明公开
CN102053173A 探针引导件、探针板及使用它的半导体装置的试验方法 有权

探针引导件、探针板及使用它的半导体装置的试验方法
摘要：
本发明的课题在于提供一种能够进行稳定的电连接且不会在突起状连接电极的突起顶点留下刮擦痕迹的探针引导件、悬臂型探针板以及半导体装置的试验方法。本发明通过提供以下这样的探针引导件、具有这样的引导件的悬臂型探针板以及使用这样的引导件的半导体装置的试验方法来解决上述课题，该探针引导件设有具有直线状侧部的引导孔，在试验时，所述引导孔引导与突起状连接电极接触的探针顶端部在沿着其刮擦方向的直线方向上移动，在所述探针引导件相对于突起状连接电极被定位在使用位置时，该引导孔在与突起状连接电极的顶点周边部相对的位置开口，所述顶点周边部偏离通过所述突起状连接电极的突起顶点的刮擦方向的中心线。
摘要（英）：

The invention provides a probe guiding member, a cantilever type probe plate and a test method using the guiding member, thereby a stable electric connection and no scraping trace at the protruding summit of a protruding connection electrode can be achieved. The probe guiding member is provided with a guiding hole with a linear lateral part. The guiding hole leads the probe top part contacting with the protruding connection circuit to move linearly along the scraping direction. When the probe guiding member is positioned at the usage position with respect to the protruding connection electrode, the guiding hole will open at the position relative to the periphery of the top of the protruding connection circuit. The periphery of the top deviates from the center line passing through the scraping direction of the protruding top of the protruding connection circuit.

公开/授权文献
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