Invention Publication
- Patent Title: 探针引导件、探针板及使用它的半导体装置的试验方法
- Patent Title (English): Probe guiding member, probe plate and test method of semiconductor device using the guiding member
-
Application No.: CN201010542474.0Application Date: 2010-11-02
-
Publication No.: CN102053173APublication Date: 2011-05-11
- Inventor: 大里卫知
- Applicant: 日本麦可罗尼克斯股份有限公司
- Applicant Address: 日本国东京都武藏野市吉祥寺本町2丁目6番8号
- Assignee: 日本麦可罗尼克斯股份有限公司
- Current Assignee: 日本麦可罗尼克斯股份有限公司
- Current Assignee Address: 日本国东京都武藏野市吉祥寺本町2丁目6番8号
- Agency: 上海市华诚律师事务所
- Agent 徐申民
- Priority: 2009-252950 2009.11.04 JP
- Main IPC: G01R1/02
- IPC: G01R1/02 ; G01R1/073 ; G01R31/26

Abstract:
本发明的课题在于提供一种能够进行稳定的电连接且不会在突起状连接电极的突起顶点留下刮擦痕迹的探针引导件、悬臂型探针板以及半导体装置的试验方法。本发明通过提供以下这样的探针引导件、具有这样的引导件的悬臂型探针板以及使用这样的引导件的半导体装置的试验方法来解决上述课题,该探针引导件设有具有直线状侧部的引导孔,在试验时,所述引导孔引导与突起状连接电极接触的探针顶端部在沿着其刮擦方向的直线方向上移动,在所述探针引导件相对于突起状连接电极被定位在使用位置时,该引导孔在与突起状连接电极的顶点周边部相对的位置开口,所述顶点周边部偏离通过所述突起状连接电极的突起顶点的刮擦方向的中心线。
Public/Granted literature
- CN102053173B 探针引导件、探针板及使用它的半导体装置的试验方法 Public/Granted day:2015-04-22
Information query