一种改进的光束匀化装置的研制
Abstract:
本发明是关于一种改进的光束匀化装置的研制,该装置可应用于激光退火或其他对光束有匀化要求的领域。其特征在于,通过引入预匀化环节、随机相位板以及透镜阵列和积分棒的有机结合,对光束进行多级匀化并消除相干性的影响,可以大大提高光束的匀化效果,同时又能够降低对透镜阵列的加工要求,节约成本。
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