Invention Grant
CN102053372B 一种改进的光束匀化装置的研制
失效 - 权利终止
- Patent Title: 一种改进的光束匀化装置的研制
- Patent Title (English): Improved development process for light beam homogenization device
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Application No.: CN201110030194.6Application Date: 2011-01-27
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Publication No.: CN102053372BPublication Date: 2012-05-30
- Inventor: 尉昊赟 , 黄威 , 李岩
- Applicant: 清华大学
- Applicant Address: 北京市海淀区清华大学100084信箱82分箱
- Assignee: 清华大学
- Current Assignee: 清华大学
- Current Assignee Address: 北京市海淀区清华大学100084信箱82分箱
- Agency: 北京金恒联合知识产权代理事务所
- Agent 李强
- Main IPC: G02B27/09
- IPC: G02B27/09 ; G02B27/28
Abstract:
本发明是关于一种改进的光束匀化装置的研制,该装置可应用于激光退火或其他对光束有匀化要求的领域。其特征在于,通过引入预匀化环节、随机相位板以及透镜阵列和积分棒的有机结合,对光束进行多级匀化并消除相干性的影响,可以大大提高光束的匀化效果,同时又能够降低对透镜阵列的加工要求,节约成本。
Public/Granted literature
- CN102053372A 一种改进的光束匀化装置的研制 Public/Granted day:2011-05-11
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