像素结构的制作方法及接触窗开口的制作方法
摘要:
一种像素结构的制作方法。首先,在基板上形成闸极。继之,在基板上形成闸绝缘层以覆盖闸极。然后,在闸极上方形成源极与汲极。接着,在汲极上形成疏水图案。再来,在基板上形成保护层以覆盖源极与汲极,疏水图案排开保护层,而在汲极上方的保护层中形成接触窗开口。之后,固化保护层且同时移除疏水图案。然后,在保护层上形成像素电极,此像素电极填入接触窗开口而与汲极电性连接。本发明可以简化制程以及降低制造成本。
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