发明公开
- 专利标题: 像素结构的制作方法及接触窗开口的制作方法
- 专利标题(英): Manufacturing method of pixel structure and manufacturing method of contact window opening
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申请号: CN200910110388.X申请日: 2009-10-29
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公开(公告)号: CN102054768A公开(公告)日: 2011-05-11
- 发明人: 郑荣安 , 谢汉萍 , 江美昭 , 莫启能 , 吴上智
- 申请人: 深圳华映显示科技有限公司 , 中华映管股份有限公司
- 申请人地址: 广东省深圳市宝安区光明高新技术产业园区塘明大道9号
- 专利权人: 深圳华映显示科技有限公司,中华映管股份有限公司
- 当前专利权人: 华映科技(集团)股份有限公司,中华映管股份有限公司
- 当前专利权人地址: 广东省深圳市宝安区光明高新技术产业园区塘明大道9号
- 代理机构: 深圳中一专利商标事务所
- 代理商 张全文
- 主分类号: H01L21/82
- IPC分类号: H01L21/82 ; H01L21/336 ; H01L21/768
摘要:
一种像素结构的制作方法。首先,在基板上形成闸极。继之,在基板上形成闸绝缘层以覆盖闸极。然后,在闸极上方形成源极与汲极。接着,在汲极上形成疏水图案。再来,在基板上形成保护层以覆盖源极与汲极,疏水图案排开保护层,而在汲极上方的保护层中形成接触窗开口。之后,固化保护层且同时移除疏水图案。然后,在保护层上形成像素电极,此像素电极填入接触窗开口而与汲极电性连接。本发明可以简化制程以及降低制造成本。
公开/授权文献
- CN102054768B 像素结构的制作方法及接触窗开口的制作方法 公开/授权日:2013-05-01
IPC分类: