Invention Grant
CN102060260B 一种以锡为牺牲层的微机械结构器件制备方法
失效 - 权利终止
- Patent Title: 一种以锡为牺牲层的微机械结构器件制备方法
- Patent Title (English): Micromechanical structure device production method taking tin as sacrifice layer
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Application No.: CN201010565106.8Application Date: 2010-11-26
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Publication No.: CN102060260BPublication Date: 2012-08-01
- Inventor: 翟厚明 , 马斌 , 程正喜 , 张学敏
- Applicant: 中国科学院上海技术物理研究所
- Applicant Address: 上海市玉田路500号
- Assignee: 中国科学院上海技术物理研究所
- Current Assignee: 中国科学院上海技术物理研究所
- Current Assignee Address: 上海市玉田路500号
- Agency: 上海新天专利代理有限公司
- Agent 郭英
- Main IPC: B81C1/00
- IPC: B81C1/00
Abstract:
本发明公开了一种以锡为牺牲层的微机械结构器件制备方法。该方法以锡为牺牲层,采用加热基底熔化锡的方法实现牺牲层表面平坦化;采用湿法腐蚀方法腐蚀锡牺牲层,使牺牲层成形;在牺牲层表面制作各种微机械结构图形后,将基底置于干冰液体中,使牺牲层粉末化并脱离基底,实现微机械结构悬空。由于牺牲层去除采用物理方法,不会对悬空微机械结构材料产生化学腐蚀作用,因此可提高器件合格率,有利于大规模生产。
Public/Granted literature
- CN102060260A 一种以锡为牺牲层的微机械结构器件制备方法 Public/Granted day:2011-05-18
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