一种以锡为牺牲层的微机械结构器件制备方法
Abstract:
本发明公开了一种以锡为牺牲层的微机械结构器件制备方法。该方法以锡为牺牲层,采用加热基底熔化锡的方法实现牺牲层表面平坦化;采用湿法腐蚀方法腐蚀锡牺牲层,使牺牲层成形;在牺牲层表面制作各种微机械结构图形后,将基底置于干冰液体中,使牺牲层粉末化并脱离基底,实现微机械结构悬空。由于牺牲层去除采用物理方法,不会对悬空微机械结构材料产生化学腐蚀作用,因此可提高器件合格率,有利于大规模生产。
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