本发明涉及六方晶系钛酸钡粉末、其制造方法、电介质陶瓷组合物和电子部件。电介质陶瓷组合物，其以六方晶系钛酸钡为主成分，该六方晶系钛酸钡用通式(Ba1-αMα)A(Ti1-βMnβ)BO3表示，晶体结构为六方晶，且上述M的12配位时的有效离子半径相对于12配位时Ba2+的有效离子半径为±20％以内，上述A、B、α和β满足0.900≤(A/B)≤1.040、0.003≤α≤0.05、0.03≤β≤0.2的关系，相对于该主成分100摩尔，作为副成分，以特定量含有MgO等的碱土类氧化物、Mn3O4和/或Cr2O3、CuO、Al2O3、稀土类元素氧化物、和含SiO2的玻璃成分。根据本发明，可以提供适用于制造表现高的相对介电常数、绝缘电阻优异、且可确保充分可靠性的电容器等电子部件的六方晶系钛酸钡和电介质陶瓷组合物。