通过再熔化颗粒制造由硅构成的单晶体的方法
摘要:
本发明涉及一种通过再熔化颗粒制造由硅构成的单晶体的方法,包括:借助于设置在由硅构成的转动板的下方的感应加热线圈,使单晶体的锥形延伸区段结晶;以及通过板中的锥形管将被感应熔化的硅供给到熔融体,所述管环绕板的中心开口且延伸到板的下方,所述熔融体位于单晶体的锥形延伸区段上,且与锥形管的管端接触,其中,借助于设置在板的下方的感应加热线圈,提供足够的能量,以便在单晶体的锥形延伸区段具有15-30mm的直径且结晶时使管端的外径不小于15mm。
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