- 专利标题: 栅极调制正装结构GaN基发光二极管的器件结构及制备方法
- 专利标题(英): Device structure of grid modulation positively-mounted structure GaN base light emitting diode and manufacturing method
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申请号: CN201010534622.4申请日: 2010-11-03
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公开(公告)号: CN102064260B公开(公告)日: 2012-08-15
- 发明人: 刘志强 , 郭恩卿 , 伊晓燕 , 汪炼成 , 王国宏 , 李晋闽
- 申请人: 中国科学院半导体研究所
- 申请人地址: 北京市海淀区清华东路甲35号
- 专利权人: 中国科学院半导体研究所
- 当前专利权人: 深圳市洲明科技股份有限公司
- 当前专利权人地址: 北京市海淀区清华东路甲35号
- 代理机构: 中科专利商标代理有限责任公司
- 代理商 汤保平
- 主分类号: H01L33/36
- IPC分类号: H01L33/36 ; H01L33/00
摘要:
一种栅极调制正装结构GaN基发光二极管结构,包括:一蓝宝石衬底;一n型GaN层,该n型GaN层制作在蓝宝石衬底上,该n型GaN层上面的一侧形成有一台面,该台面的深度小于n型GaN层的厚度;一多量子阱有源层,该多量子阱有源层制作在n型GaN层上面没有台面的另一侧上;一p型GaN层,该p型GaN层制作在多量子阱有源层上;一P电极,该p电极制作在p型GaN层上面远离台面的一侧;一N电极,该N电极制作在n型GaN层上面的台面上;一栅极绝缘层,该栅极绝缘层制作在p型GaN层上面没有P电极的另一侧;一栅电极,该电极制作在栅极绝缘层上。
公开/授权文献
- CN102064260A 栅极调制正装结构GaN基发光二极管的器件结构及制备方法 公开/授权日:2011-05-18
IPC分类: