栅极调制正装结构GaN基发光二极管的器件结构及制备方法
摘要:
一种栅极调制正装结构GaN基发光二极管结构,包括:一蓝宝石衬底;一n型GaN层,该n型GaN层制作在蓝宝石衬底上,该n型GaN层上面的一侧形成有一台面,该台面的深度小于n型GaN层的厚度;一多量子阱有源层,该多量子阱有源层制作在n型GaN层上面没有台面的另一侧上;一p型GaN层,该p型GaN层制作在多量子阱有源层上;一P电极,该p电极制作在p型GaN层上面远离台面的一侧;一N电极,该N电极制作在n型GaN层上面的台面上;一栅极绝缘层,该栅极绝缘层制作在p型GaN层上面没有P电极的另一侧;一栅电极,该电极制作在栅极绝缘层上。
0/0