发明授权
CN102071456B 一种多晶硅铸锭炉安全监控装置
失效 - 权利终止
- 专利标题: 一种多晶硅铸锭炉安全监控装置
- 专利标题(英): Safety monitoring device for polysilicon ingot furnace
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申请号: CN201110020064.4申请日: 2011-01-18
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公开(公告)号: CN102071456B公开(公告)日: 2012-09-05
- 发明人: 吴春林 , 赵从军 , 赵忠信 , 苏效亭
- 申请人: 山东舜亦新能源有限公司
- 申请人地址: 山东省菏泽市单县经济技术开发区
- 专利权人: 山东舜亦新能源有限公司
- 当前专利权人: 山东舜亦新能源有限公司
- 当前专利权人地址: 山东省菏泽市单县经济技术开发区
- 代理机构: 济南泉城专利商标事务所
- 代理商 张贵宾
- 主分类号: C30B28/06
- IPC分类号: C30B28/06
摘要:
本发明涉及一种安全监控装置,特别涉及一种多晶硅铸锭炉安全监控装置。该多晶硅铸锭炉安全监控装置,包括铸锭炉,铸锭炉上端口通过上法兰与炉体端盖密封连接,铸锭炉内设有铸锭坩埚,其特征是:铸锭炉内对应铸锭坩埚下底部处设有一用于监控铸锭坩埚内硅液外漏的监控装置,监控装置通过总管道与显示器相连接。因此,本发明的有益效果是:该多晶硅铸锭炉安全监控装置,可以直观地监控铸锭炉铸锭过程中硅液是否外漏,能够及时发现并处理,有效地保护热场部分,杜绝了误报警造成的损失,大大减少了生产中的经济损失。
公开/授权文献
- CN102071456A 一种多晶硅铸锭炉安全监控装置 公开/授权日:2011-05-25
IPC分类: