一种多晶硅铸锭炉安全监控装置
摘要:
本发明涉及一种安全监控装置,特别涉及一种多晶硅铸锭炉安全监控装置。该多晶硅铸锭炉安全监控装置,包括铸锭炉,铸锭炉上端口通过上法兰与炉体端盖密封连接,铸锭炉内设有铸锭坩埚,其特征是:铸锭炉内对应铸锭坩埚下底部处设有一用于监控铸锭坩埚内硅液外漏的监控装置,监控装置通过总管道与显示器相连接。因此,本发明的有益效果是:该多晶硅铸锭炉安全监控装置,可以直观地监控铸锭炉铸锭过程中硅液是否外漏,能够及时发现并处理,有效地保护热场部分,杜绝了误报警造成的损失,大大减少了生产中的经济损失。
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