一种多波长输出的标准具及其制作方法
摘要:
本发明涉及光学与激光领域,尤其涉及标准具领域。本发明公开了一种多波长输出的标准具及其制作方法。所述的标准具包括标准具腔片基板、过渡块和顶块,主要通过镀膜机粒子束和利用挡板逐步遮掩在标准具腔片基板上镀上与基板材料相同的膜层,进而在基板上形成一维或者二维的台阶衬底,再在台阶衬底上镀高反膜,在顶块上镀反射膜,从而台阶衬底与顶块形成透射中心波长多级标准具。本发明的标准具不需要改变入射方向,即可获得多个透射中心波长,且标准具间隔加工精度高,可达到纳米数量级。因其不需调节入射角度即可获得多个透射中心波长输出,特别适用于有双光纤接收反射端器件。
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