发明授权
- 专利标题: 光偏转器
- 专利标题(英): Optical deflector
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申请号: CN201110027528.4申请日: 2009-03-13
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公开(公告)号: CN102073138B公开(公告)日: 2013-03-13
- 发明人: 中村真希子 , 沟口安志
- 申请人: 精工爱普生株式会社
- 申请人地址: 日本东京
- 专利权人: 精工爱普生株式会社
- 当前专利权人: 精工爱普生株式会社
- 当前专利权人地址: 日本东京
- 代理机构: 北京康信知识产权代理有限责任公司
- 代理商 余刚; 吴孟秋
- 优先权: 2008-218586 2008.08.27 JP; 2008-063524 2008.03.13 JP; 2009-053350 2009.03.06 JP
- 分案原申请号: 2009101271334 2009.03.13
- 主分类号: G02B26/08
- IPC分类号: G02B26/08
摘要:
本发明提供一种在确保包括反射面的可动板的有效面积的同时降低可动板的惯性矩的光偏转器及其制造方法。上述光偏转器包括:可动板,包括设置有反射面的表面以及与上述表面相对的背面,其中,上述反射面用于反射光;以及一对支承部,支承上述可动板,使上述可动板可围绕规定的轴转动,其中,上述支承部包括截面为平行四边形的两根杆部件,上述两根杆部件被配置成,上述两根杆部件的间距沿着从上述可动板的背面侧朝向上述可动板的表面侧的方向增大。
公开/授权文献
- CN102073138A 光偏转器 公开/授权日:2011-05-25