- 专利标题: 一种用于PMOS器件的金属栅功函数的调节方法
- 专利标题(英): Method for regulating metal gate work function for PMOS (P-channel Metal Oxide Semiconductor) device
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申请号: CN200910241539.5申请日: 2009-11-25
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公开(公告)号: CN102074469B公开(公告)日: 2012-04-11
- 发明人: 徐秋霞 , 许高博
- 申请人: 中国科学院微电子研究所
- 申请人地址: 北京市朝阳区北土城西路3号
- 专利权人: 中国科学院微电子研究所
- 当前专利权人: 中国科学院微电子研究所
- 当前专利权人地址: 北京市朝阳区北土城西路3号
- 代理机构: 中科专利商标代理有限责任公司
- 代理商 周长兴
- 主分类号: H01L21/28
- IPC分类号: H01L21/28 ; H01L21/265 ; H01L21/336
摘要:
一种用于PMOS器件的金属栅功函数的调节方法,首先利用物理汽相淀积方法,在高K介质上面淀积一层金属氮化物膜或金属膜,作为金属栅电极,然后采用离子注入方法往金属栅电极中注入Al、Pt、Ru、Ga或Ir等元素,通过高温热退火将掺杂金属离子驱进到金属栅电极与高K栅介质的界面上形成堆积或者通过界面反应生成偶极子,达到调节金属栅有效功函数的目的。此方法具有普适性,工艺简单方便,调节金属栅功函数的能力强,与CMOS工艺兼容性很好。
公开/授权文献
- CN102074469A 一种用于PMOS器件的金属栅功函数的调节方法 公开/授权日:2011-05-25
IPC分类: