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放电电离电流检测器
摘要:
提供一种放电电离电流检测器。通过降低低频电介质阻挡放电的放电开始电压来实现高压电源部的成本降低。从配置在等离子体气体(He)流动的圆筒管(2)的外部的光源部(20)通过圆筒管(2)的壁面向气体流路(4)中的等离子体生成区域(等离子体生成用电极6、7之间的区域)照射光。He分子或者He气中的微量杂质气体分子通过光能被激发而发生光电离,因此在电极(5)与电极(6、7)之间施加低于正常的放电开始电压的低频电压的状态下开始放电,从而形成等离子体。一旦放电开始,只要在电极(5)与电极(6、7)之间施加正常的放电维持电压就可持续放电,因此只要在放电开始时将光源部(20)启动较短时间即可。
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