• 专利标题: 用集成机械微悬臂通过垂直应力梯度控制来减轻静摩擦
  • 专利标题(英): Stiction mitigation with integrated mech micro-cantilevers through vertical stress gradient control
  • 申请号: CN200980126630.0
    申请日: 2009-07-09
  • 公开(公告)号: CN102089700A
    公开(公告)日: 2011-06-08
  • 发明人: 童叶俊
  • 申请人: 高通MEMS科技公司
  • 申请人地址: 美国加利福尼亚州
  • 专利权人: 高通MEMS科技公司
  • 当前专利权人: 高通MEMS科技公司
  • 当前专利权人地址: 美国加利福尼亚州
  • 代理机构: 北京律盟知识产权代理有限责任公司
  • 代理商 宋献涛
  • 优先权: 61/080,005 2008.07.11 US; 12/275,366 2008.11.21 US
  • 国际申请: PCT/US2009/050172 2009.07.09
  • 国际公布: WO2010/006213 EN 2010.01.14
  • 进入国家日期: 2011-01-07
  • 主分类号: G02B26/00
  • IPC分类号: G02B26/00 B81B3/00 G02B26/08
用集成机械微悬臂通过垂直应力梯度控制来减轻静摩擦
摘要:
本发明涉及减轻机电装置中的静摩擦。在一些实施例中,机电装置可具备一个或一个以上提供用于减轻静摩擦的辅助机械力的回复部分。所述回复部分可实施为一个或一个以上可偏转元件,其中所述可偏转元件可具有各种配置或形状,例如人字形、十字形等等。举例来说,所述回复部分可为悬臂,其在至少一个组件接触或靠近另一组件时偏转。也可使用多个回复部分,且战略上将其放置于所述机电装置内,以使其在减轻静摩擦方面的有效性增至最大。
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