高纯硅烷气体连续制备装置，涉及化工原料的制备方法和装置技术领域。两个原料储罐分别通过阀门和计量泵连接在反应器的进料口上，反应器的气体出口通过阀门连接至第一级分馏装置，第一级分馏装置的出气口通过阀门与第二级分馏装置连接，第二级分馏装置的出液口通过阀门连接高纯硅烷气化罐，两级分馏装置分别各自连接冷却循环系统，反应器通过阀门还连接有吹扫气体进气管路，反应器的液体出口通过阀门连接副产物储罐。本发明是一种集成化的制备、纯化硅烷装置，产出量可根据用户的用气量进行调节，随时给用户供应高纯硅烷，无需罐装和运输、存储，操作简便，安全性大为提高，也大幅度节约了成本。