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压电泵
摘要:
本发明提供即使以较低的驱动电压也能在压电元件的中央部得到较大位移量、并且可以防止由于迁移而导致产生短路的压电泵。压电泵的泵本体(1)中形成的泵室(2)被压电元件(21)关闭,通过对压电元件施加电压,使其中心范围和周边范围向相反方向弯曲位移,使泵室(2)的容积产生变化。压电元件(21)是将电极置于其间、层叠多个压电体层而成,并形成电极,使得各压电体层内的中心范围和周边范围在厚度方向被极化为互相相反的方向,对各压电体层内的中心范围和周边范围施加在厚度方向为同一方向的电压。由于对形成于压电体层的同一面上的电极施加同一电位的电压,因此可以防止由于迁移而导致产生短路。
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