发明授权
CN102095689B 一种偏振分辨的差分反射谱测量系统
失效 - 权利终止
- 专利标题: 一种偏振分辨的差分反射谱测量系统
- 专利标题(英): Polarization resolution differential reflection spectrum measuring system
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申请号: CN201010596245.7申请日: 2010-12-20
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公开(公告)号: CN102095689B公开(公告)日: 2012-08-15
- 发明人: 申超 , 朱汇 , 吴昊
- 申请人: 中国科学院半导体研究所
- 申请人地址: 北京市海淀区清华东路甲35号
- 专利权人: 中国科学院半导体研究所
- 当前专利权人: 中国科学院半导体研究所
- 当前专利权人地址: 北京市海淀区清华东路甲35号
- 代理机构: 中科专利商标代理有限责任公司
- 代理商 周国城
- 主分类号: G01N21/21
- IPC分类号: G01N21/21 ; G01N21/47
摘要:
本发明公开了一种偏振分辨的差分反射谱测量系统,包括:一液氮杜瓦;一手动三维平移台;一消色差透镜;一激震器用于周期性震动透镜;一宽波段四分之一波长波片;一双输出格兰泰勒棱镜;一宽波段线偏振片以及一宽波长二分之一波长波片;一单色仪;一超连续白光光源;一探测器;两台锁相放大器;以及一斩波。利用本发明,通过配备低温杜瓦,可以测量样品在77K至300K之间的偏振分辨差分反射谱,从而可以进一步研究分析物质与自旋相关的能带结构和特性。
公开/授权文献
- CN102095689A 一种偏振分辨的差分反射谱测量系统 公开/授权日:2011-06-15