- 专利标题: 信息处理装置及其处理方法和半导体制造系统
- 专利标题(英): Information processing apparatus, semiconductor manufacturing system and information processing method
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申请号: CN201010601253.6申请日: 2007-05-31
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公开(公告)号: CN102096412B公开(公告)日: 2013-03-27
- 发明人: 小山典昭 , 小幡穣 , 王文凌
- 申请人: 东京毅力科创株式会社
- 申请人地址: 日本东京都
- 专利权人: 东京毅力科创株式会社
- 当前专利权人: 东京毅力科创株式会社
- 当前专利权人地址: 日本东京都
- 代理机构: 北京尚诚知识产权代理有限公司
- 代理商 龙淳
- 优先权: 2006-151803 2006.05.31 JP; 2006-156764 2006.06.06 JP
- 分案原申请号: 2007101085219 2007.05.31
- 主分类号: G05B23/02
- IPC分类号: G05B23/02 ; H01L21/00
摘要:
本发明提供一种信息处理装置,其处理作为关于对包含半导体的处理对象物进行处理的半导体制造装置的处理时状态的值的状态值,其包括:接受状态值的状态值接受部;能够存储作为成为状态值的基准的值的基准值的基准值存储部;能够存储作为用于判断状态值是否是所要值的值的阈值的阈值存储部;算出关于状态值接受部接受的状态值和基准值之差的值与关于阈值和基准值之差的值之比的算出部;和输出所述算出部已算出的比的输出部。能够解决现有的信息处理装置中关于用不同的设定值进行的处理,难以容易地监视从各个半导体制造装置取得的值的问题。
公开/授权文献
- CN102096412A 信息处理装置及其处理方法和半导体制造系统 公开/授权日:2011-06-15