提供能抑制薄膜状止回阀变形的止回阀结构。吸气阀(20)具有容许气体从隔膜泵的内部空间向泵室流动且禁止反向流动的止回阀结构。吸气阀(20)具有阀箱(16)，阀箱配置在隔膜泵的内部空间和空间(25)间，且形成有使隔膜泵的内部空间和空间(25)连通的连通孔(23)。另，吸气阀(20)具有覆盖连通孔(23)的空间(25)一侧以防止气体逆流的弹性膜体(21)。另外吸气阀(20)具备具有包围连通孔(23)的壁部(22c)且用于保持弹性膜体(21)的弹性构件(22)。另外吸气阀(20)还具有集气体(17)，集气体上形成有通过限制壁部(22c)的位置偏移来抑制弹性膜体(21)的歪斜引起的变形的突起部(24)。