发明授权
- 专利标题: 化学液体供给设备
- 专利标题(英): Chemical liquid feeding device
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申请号: CN200880130658.7申请日: 2008-09-10
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公开(公告)号: CN102105968B公开(公告)日: 2014-04-30
- 发明人: 洪思文 , 金炯逸
- 申请人: 洗涪技科技有限公司
- 申请人地址: 韩国京畿道
- 专利权人: 洗涪技科技有限公司
- 当前专利权人: 洗涪技科技有限公司
- 当前专利权人地址: 韩国京畿道
- 代理机构: 上海旭诚知识产权代理有限公司
- 代理商 郑立; 高为华
- 优先权: 10-2008-0084893 2008.08.29 KR
- 国际申请: PCT/KR2008/005329 2008.09.10
- 国际公布: WO2010/024488 EN 2010.03.04
- 进入国家日期: 2011-01-27
- 主分类号: H01L21/304
- IPC分类号: H01L21/304
摘要:
本发明涉及一种化学液体供给设备,用于供给半导体制程中所需的化学液体,其包括三个或更多的布置为排成一行的泵,各泵具有各不相同的吸入冲程和排出冲程的时间点,以便所述化学液体能够被均匀而没有脉动地供给。
公开/授权文献
- CN102105968A 化学液体供给设备 公开/授权日:2011-06-22