发明公开
- 专利标题: 均压腔气浮止推轴承
- 专利标题(英): Pressure-sharing cavity air thrust bearing
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申请号: CN200910200941.9申请日: 2009-12-25
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公开(公告)号: CN102109011A公开(公告)日: 2011-06-29
- 发明人: 王茜 , 袁志扬
- 申请人: 上海微电子装备有限公司
- 申请人地址: 上海市张江高科技园区张东路1525号
- 专利权人: 上海微电子装备有限公司
- 当前专利权人: 上海微电子装备(集团)股份有限公司
- 当前专利权人地址: 上海市张江高科技园区张东路1525号
- 代理机构: 上海思微知识产权代理事务所
- 代理商 屈蘅; 李时云
- 主分类号: F16C32/06
- IPC分类号: F16C32/06
摘要:
本发明涉及一种气浮轴承,尤其涉及一种均压腔气浮止推轴承。这种均压腔气浮止推轴承,包括至少一个气浮滑块,每个气浮滑块的支撑面上至少开设有一个棱锥均压腔,所述支撑面与基座相对,所述棱锥均压腔的锥底面与所述支撑面齐平,所述棱锥均压腔的顶点处设有一节流孔,所述节流孔与设于所述气浮滑块内部的供气管路相通,所述供气管路与外部加压气源相通。本发明采用了渐扩的棱锥均压腔腔形,使高压气体经节流孔流入轴承间隙过程中更易沿平行流线流出,从而抑制节流孔附近涡流引发的轴承振动现象,降低微振动对整个运动系统的静态和动态性能的危害。
公开/授权文献
- CN102109011B 均压腔气浮止推轴承 公开/授权日:2013-01-16