• Patent Title: 一种微透镜与光波导功分器集成元件及其制作方法
  • Patent Title (English): Micro lens and optical waveguide power divider integrated component and manufacturing method thereof
  • Application No.: CN201110005219.7
    Application Date: 2011-01-11
  • Publication No.: CN102116898B
    Publication Date: 2012-08-29
  • Inventor: 周自刚邱荣唐金龙李晓红
  • Applicant: 西南科技大学
  • Applicant Address: 四川省绵阳市涪城区青龙大道中段59号
  • Assignee: 西南科技大学
  • Current Assignee: 西南科技大学
  • Current Assignee Address: 四川省绵阳市涪城区青龙大道中段59号
  • Main IPC: G02B6/122
  • IPC: G02B6/122 G02B6/125 G02B6/13
一种微透镜与光波导功分器集成元件及其制作方法
Abstract:
本发明提供了一种微透镜与光波导功分器集成元件及其制作方法。本发明应用离子交换技术,在玻璃基底形成半球型聚焦微透镜阵列,进而利用飞秒激光诱导玻璃基底的内部发生折射率变化,形成微米宽度的光波导功分器,从而实现将微透镜和光波导功分器两种基本微光学元件集成在一块玻璃基底上,实现微透镜与光波导的对准和耦合,生成具有最佳性能的微光学集成器件,填补了本领域技术空白。
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